FF 系列滤芯
FF 系列滤芯
1)耐腐蚀性折叠式滤芯,由高纯氟材料组成,耐高温、酸碱及特殊气体性强;
2)滤膜开孔率,使用寿命长;滤芯过滤面积大,初始压差低;
3)过滤精度可达0.003μm,确保绝对的拦截效率;
4)适用范围:WET、PVD、CVD等
基本参数
| 滤膜材质 | PTFE/改性PTFE/PVDF等 |
| 支撑层/导流层 | PFA/PP |
| 骨架材料 | PFA/PP |
| 密封材质 | PFA包覆FKM、氟橡胶 |
| 精度(um) | 0.1、0.2、0.45、0.65、1、2、3、5、10、20、30(支持定制) |
| 操作范围 | 0.5MPa@20℃;0.25MPa@80℃; |
| 长 度 | 10〞/20〞(支持定制) |

