FT/YA 系列滤芯
FT/YA 系列滤芯
1）一体式滤芯，由改性PTFE和高纯PFA组成，清洁度高、低离子析出；
2）过滤面积大，通量大、过滤效率高；
3）精度覆盖0.003um～10um;
4）适用范围：室温下的H2SO4、H3PO4、HNO3、HCl、TMAH等高温应用下的SC1、SC2、SPM和其他刻蚀液；
基本参数
| 滤膜材质 | PTFE/改性PTFE/PVDF等 |
| 支撑层/导流层 | PFA/PP |
| 骨架材料 | PFA/PP |
| 密封材质 | PFA包覆FKM、氟橡胶 |
| 精度（um） | 0.1、0.2、0.45、0.65、1、2、3、5、10、20、30（支持定制） |
| 操作范围 | 0.5MPa@20℃；0.25MPa@80℃； |
| 长 度 | 10〞/20〞（支持定制） |
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