1）三接头一体式滤芯，专为半导体光刻（Litho）应用而设计，HDPE材质的歧管接口、更换简单、快速；

2) 膜材料可选UPE、Nylon和PTFE等，化学兼容性广泛；

3) 适用于过滤效率要求苛刻的高洁净度先进工艺制程，以提高制造过程的良率；